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      某單位2023年第三批科研設備采購項目公開招標公告

      詳情內容

      某單位2023年第三批科研設備采購項目公開招標公告

      • 分類:招標信息
      • 作者:
      • 來源:
      • 發布時間:2023-05-16 11:34
      • 訪問量:

      【概要描述】

      某單位2023年第三批科研設備采購項目公開招標公告

      【概要描述】

      • 分類:招標信息
      • 作者:
      • 來源:
      • 發布時間:2023-05-16 11:34
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      詳情

      項目概況

      某單位2023年第三批科研設備采購項目 招標項目的潛在投標人應在北京市東城區東四十條甲22號南新倉商務大廈B座922。獲取招標文件,并于2023年06月06日 09點30分(北京時間)前遞交投標文件。

       

      一、項目基本情況

      項目編號:TH2023-HRLAB-HZ15

      項目名稱:某單位2023年第三批科研設備采購項目

      預算金額:0.0000000 萬元(人民幣)

      采購需求:

      包號

      標的名稱

      采購包預算金額

      (萬元)

      數量

      簡要技術需求或服務要求

      交貨地點

      質保期

      是否接受進口產品

      合同履行期限

      包1

      CD測試/缺陷檢測系統

      1030

      2臺

      CD光學檢測設備是一種在線的線寬、套刻精度、同心度測試的自動光學測量設備,主要用于器件光刻工藝、刻蝕工藝后的線寬、套刻精度、邊緣尺寸的多點自動測量,具備自動傳片定位、自動測量等功能。

      缺陷檢測設備是一種用于光片上不同尺寸的顆粒及缺陷光學檢測設備,主要用于檢測工藝機臺在進行工藝做片過程中產生顆粒及缺陷的數量,具備自動定位檢測功能。

      北京,甲方指定地點

      驗收后1年

      合同生效后10個月內

      包2

      干法刻蝕系統

      1576

      2臺

      干法刻蝕系統包括深硅刻蝕機和反應離子刻蝕機,主要用于硅和介質層的等離子體干法刻蝕,是半導體芯片制造前段工序中的關鍵設備。

      北京,甲方指定地點

      驗收后1年

      合同生效后9個月內。

      包3

      PECVD設備

      850

      1臺

      PECVD系統是一種半導體薄膜沉積設備,主要用于半導體芯片制備過程中的薄膜生長,包括氧化硅、氮化硅。

      北京,甲方指定地點

      驗收后1年

      合同生效后8個月內。

      包4

      濕法清洗腐蝕系統

      3420

      20臺

      槽式顯影臺是一種半導體晶圓顯影設備,主要用于晶圓光刻曝光后顯影場合,具備顯影功能。
      無機去膠清洗臺是一種半導體晶圓去膠清洗設備,主要用于晶圓金屬前工藝去膠場合,具備去除晶圓表面光刻膠功能。
      有機去膠清洗臺是一種半導體晶圓去膠清洗設備,主要用于晶圓金屬后工藝去膠場合,具備去除晶圓表面光刻膠功能。
      RCA清洗機是一種半導體晶圓清洗設備,主要用于晶圓表面清洗場合,具備清洗晶圓表面有機物、金屬離子、顆粒的功能。
      酸堿清洗機是一種半導體晶圓清洗設備,主要用于晶圓金屬后工藝清洗場合,具備清洗去除晶圓表面自然氧化膜和顆粒功能。
      無機超聲波清洗機是一種半導體晶圓清洗設備,主要用于晶圓金屬前清洗場合,具備清洗去除晶圓表面顆粒功能。
      有機超聲波清洗機是一種半導體晶圓清洗設備,主要用于晶圓金屬后清洗場合,具備清洗去除晶圓表面顆粒功能。
      介質酸堿腐蝕臺是一種半導體晶圓腐蝕設備,主要用于晶圓介質層膜腐蝕場合,具備腐蝕晶圓表面SiO2/SiN功能。
      硅酸堿腐蝕臺是一種半導體晶圓腐蝕設備,主要用于晶圓表面硅腐蝕場合,具備腐蝕晶圓表面硅功能。
      金屬腐蝕臺是一種半導體晶圓腐蝕設備,主要用于晶圓表面金屬腐蝕場合,具備腐蝕晶圓表面金屬功能。
      爐管清洗機是一種半導體爐管清洗設備,主要用于爐管外表面和內表面清洗場合,具備清洗去除爐管內外表面各種附著物的功能。
      石英腔清洗機是一種半導體石英腔清洗設備,主要用于石英腔內表面清洗場合,具備清洗去除石英腔內表面各種附著物的功能。
      配件有機清洗機是一種半導體設備配件清洗設備,主要用于清洗涂膠顯影設備配件,具備去除光刻膠的功能。
      甩干機是一種半導體晶圓清洗甩干設備,主要用于干燥晶圓場合,具備沖洗、甩干和烘干晶圓功能。
      表面超聲清洗機是一種半導體晶圓清洗設備,主要用于晶圓后道清洗場合,具備沖洗晶圓表面顆粒功能。
      邊緣腐蝕清洗機是一種半導體晶圓腐蝕設備,主要用于晶圓腐蝕場合,具備晶圓邊緣腐蝕功能。

      北京,甲方指定地點

      驗收后1年

      合同生效后8個月內。

      包5

      光刻板清洗機設備

      110

      1臺

      光刻板清洗機是一種光刻版去除沾污的清洗設備,主要用于半導體芯片在光刻工藝后,由于光刻板接觸晶圓以及顆粒沾污而影響曝光工藝,通過光刻板清洗實現光刻板清潔以便繼續使用,是接觸式光刻工藝必要設備。

      北京,甲方指定地點

      驗收后1年

      合同生效后8個月內。

      包6

      晶圓倒角機

      218

      1臺

      晶圓倒角機是一種半導體晶圓加工設備,具備晶圓邊緣倒角功能,主要用于晶圓邊緣的特定角度造型。

      北京,甲方指定地點

      驗收后1年

      合同生效后8個月內。

       

      合同履行期限:詳見采購要求

      本項目( 不接受  )聯合體投標。

      二、申請人的資格要求:

      1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定;

      2.落實政府采購政策需滿足的資格要求:

      2.1 中小企業政策

      ?本項目不專門面向中小企業預留采購份額。

      □本項目專門面向  □中小 □小微企業采購。即:提供的貨物全部由符合政策要求的中小/小微企業制造、服務全部由符合政策要求的中小/小微企業承接。

      □本項目預留部分采購項目預算專門面向中小企業采購。對于預留份額,提供的貨物由符合政策要求的中小企業制造、服務由符合政策要求的中小企業承接。預留份額通過以下措施進行:   /  。

      2.2 其它落實政府采購政策的資格要求(如有):  /  。

       

      3.本項目的特定資格要求:3.1本項目是否接受分支機構參與投標:□是 ?否;3.2本項目是否屬于政府購買服務:?否□是,公益一類事業單位、使用事業編制且由財政撥款保障的群團組織,不得作為承接主體;3.3其他特定資格要求:(1)通過“信用中國”網站(www.creditchina.gov.cn)和中國政府采購網(www.ccgp.gov.cn)查詢信用記錄(截止時點為投標截止時間),對近三年內列入失信被執行人、重大稅收違法案件當事人、政府采購嚴重違法失信行為記錄名單的供應商,沒有資格參加本項目的采購活動;(2)單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商,不得參加同一合同項下的政府采購活動;(3)本項目只接受制造商投標;(4)投標人必須按照招標公告的規定,向招標代理機構登記,獲得招標文件。

      三、獲取招標文件

      時間:2023年05月17日  至 2023年05月23日,每天上午9:00至12:00,下午13:00至17:00。(北京時間,法定節假日除外)

      地點:北京市東城區東四十條甲22號南新倉商務大廈B座922。

      方式:本項目報名采取電子郵件方式報名。有意向的投標人提供下列有效證件電子版購買招標文件或進一步索取詳細信息:1)有效的企業法人營業執照;2)如為法定代表人報名請提供法定代表人身份證明文件及身份證;如為被授權人報名須提供法定代表人授權委托書、被授權人身份證;3)標書款匯款底單(以上材料均需提供復印件并加蓋單位公章。供應商提供的資料不全或不符合要求,其投標報名將被拒絕);注意:以上證件如處于年檢、補證、換發中,供應商須出示該證件頒發部門或相應主管部門有效證明文件。請將上述文件掃描件、標書費匯款底單、采購文件獲取情況登記表(可編輯版)發送至ywb08@thtc.com.cn。

      售價:¥500.0 元,本公告包含的招標文件售價總和

      四、提交投標文件截止時間、開標時間和地點

      提交投標文件截止時間:2023年06月06日 09點30分(北京時間)

      開標時間:2023年06月06日 09點30分(北京時間)

      地點:天恒招標有限公司會議室(北京市東城區東四十條甲22號南新倉商務大廈B座922)。

      五、公告期限

      自本公告發布之日起5個工作日。

      六、其他補充事宜

       

      1.本項目需要落實的政府采購政策:節約能源、保護環境、促進中小企業及監獄企業發展、促進殘疾人就業、支持鄉村產業振興,政府采購政策具體落實情況詳見招標文件。

      2.發布公告的媒介:中國政府采購網

      3.評標方法和標準:綜合評分法

       

       

      七、對本次招標提出詢問,請按以下方式聯系。

      1.采購人信息

      名 稱:某單位     

      地址:/        

      聯系方式:馮老師 010-50918086      

      2.采購代理機構信息

      名 稱:天恒招標有限公司            

      地 址:北京市東城區東四十條甲22號南新倉商務大廈B座922            

      聯系方式:劉泳岐、李雅奇、陳潔、劉戈、楊洋 010-53350083            

      3.項目聯系方式

      項目聯系人:劉泳岐、李雅奇、陳潔、劉戈、楊洋

      電 話:  010-53350083

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      10.12.2021
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      10.12.2021
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      10.14.2021
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